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SDW-11C全自動晶圓專用接觸角測量儀產(chǎn)品介紹:
SDW-11C全自動晶圓專用接觸角測量儀專為晶圓深度定制的一臺全自動接觸角測量儀,廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究,是一臺快速測量晶圓多點(diǎn)位潤濕性分析測量的設(shè)備。專為晶圓深度定制的一臺全自動接觸角測量儀,廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究,是一臺快速測量晶圓多點(diǎn)位潤濕性分析測量的設(shè)備。
技術(shù)參數(shù):
整體參數(shù) | 型號 | SDW-11C |
名稱 | 全自動晶圓專用接觸角測量儀 | |
類型 | 晶圓型 | |
機(jī)身材質(zhì) | 航空鋁 | |
輸入電源 | 220V 50-60Hz | |
功率 | 10W | |
儀器尺寸 | 約890mm(W)*400mm(L)* 580mm(H) | |
儀器重量 | 約30KG | |
樣品平臺系統(tǒng) | 平臺尺寸 | 直徑320mm |
前后Y移動 | 自動:行程160mm,精度0.1mm | |
上下Z移動 | 手動:行程30mm,精度0.1mm | |
水平調(diào)整 | 整機(jī)水平調(diào)整,攝像頭水平調(diào)整(配送專業(yè)級XY水平儀) | |
可放置樣品 | 6-12寸 | |
樣品臺材質(zhì) | 鋁合金帶四向?qū)χ屑夹g(shù) | |
注射系統(tǒng) | 注液移動行程 | Y行程:40mm Z行程(自動):35mm,精度0.1mm(針頭對中及液滴自動轉(zhuǎn)移) |
滴樣控制移動 | 行程:60mm,精度:0.01mm | |
滴樣方式 | 自動 | |
滴液精度 | 0.01ul | |
加液方式 | 自動(配送5ml玻璃燒杯加液) | |
微量進(jìn)樣器 | 容量:500ul(全自動液位實(shí)時(shí)檢測) | |
針頭 | 標(biāo)配0.5mm不銹鋼針頭(可替換)20個(gè)、超疏水針頭0.25mm(可替換)20個(gè) | |
采集系統(tǒng) | 相機(jī) | 日本SONY高速工業(yè)級芯片(Onsemi行曝光) |
鏡頭 | 0.7x-4.5x | |
傳感器類型 | 1/1.8 英寸逐行掃描CMOS | |
分辨率 | 1280×1024 | |
焦距 | ±2.5mm可調(diào) | |
圖像拍攝方法 | 單張、間隔、連續(xù) | |
拍攝間隔時(shí)間 | 500-3600000ms | |
視頻錄制方式 | 錄像、回播、合成 | |
清晰度測量 | 全自動軟件對焦 | |
最大拍攝速度 | 80幀/s | |
光源系統(tǒng) | 光源 | 美國進(jìn)口工業(yè)級白色冷光源(有效避免因光源散發(fā)熱量蒸發(fā)液滴) |
組合方式 | 采用日本進(jìn)口石英擴(kuò)散膜使得亮度更均勻,液滴輪廓更清晰 | |
使用壽命 | 5萬小時(shí)以上 | |
亮度調(diào)節(jié) | PWM無極調(diào)節(jié)+軟件調(diào)節(jié) | |
亮度識別 | 算法自動識別亮度保證最佳亮度 | |
光源波長 | 400~760nm | |
功率 | 1W | |
接觸角測量 | 接觸角測量方法 | 懸滴法、座滴法等 |
測量軟件 | CA V2.0靜/動態(tài)接觸角測量軟件+表面能測量軟件 | |
軟件操作系統(tǒng)要求 | windows 10(64位) | |
接觸角測量方式 | 自動與手動 | |
接觸角計(jì)算方法(static contact angle) | 自動擬合法(ms級別一鍵全自動擬合,不存在人工誤差)、三點(diǎn)擬合、五點(diǎn)擬合、自動測量(包括圓擬合法/斜圓擬合法(Circle method/ Oblique Circle)、橢圓擬合法/斜橢圓擬合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake擬合法、凹凸面測量等 | |
動態(tài)接觸角測量 (Dynamic contact angle) | 前進(jìn)角(Advancing angle),后退角(receding angle),滯后角(hysteresis angle) (可批量擬合多張圖片或視頻連續(xù)擬合計(jì)算Video analysis) | |
基線擬合 | 自動與手動 | |
角度范圍 | 0°<θ<180° | |
精度 | 0.1° | |
分辨率 | 0.001° | |
表面能 | 表面能測量方法 | Fowks法,OWRK法,Zisman法,EOS法,Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法(軟件中預(yù)裝37種液體數(shù)據(jù)庫,可自行建立液體性能參數(shù))數(shù)據(jù)可直接調(diào)入用于表面能估算,液體庫數(shù)據(jù)可自行添加、刪除和修改。可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、路易斯酸分量、路易斯堿分量等 |
表面能單位 | mJ/m2 | |
表界面張力 | 測量方法 | 自動擬合+手動擬合 |
精度 | 0.01 mN/m | |
測量范圍 | 0.1mN/m-2000mN/m | |
潤濕性分析 | 粘附功 | 一鍵自動分析 |
鋪展系數(shù) | 一鍵自動分析 | |
粘附張力 | 一鍵自動分析 | |
精度 | 0.001 mN/m | |
單位 | mN/m |
設(shè)備清單:
1.usb2.0數(shù)字CCD攝像頭 1個(gè) | 2.連續(xù)變倍光學(xué)系統(tǒng) 1個(gè) |
3.手動加樣系統(tǒng) 1套 | 4.手動CCD傾斜系統(tǒng) 1套 |
5.表界面分析測量系統(tǒng)應(yīng)用軟件 1套 | 6.說明書紙質(zhì)一份及說明書電子版 1份 |
7.保修卡及合格證1份 | 8.親水進(jìn)樣針20個(gè),疏水進(jìn)樣針20個(gè) |
9.500ul進(jìn)樣器1個(gè) | 10.電源線及數(shù)據(jù)線1條 |
11.XY專用水平儀1個(gè) | 11.晶圓自動旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) 1套 |